美國(guó)mks真空計(jì)的選型指南mks真空計(jì)測(cè)量低于大氣壓的氣體壓強(qiáng)的工具稱為真空計(jì)。也叫真空規(guī)。凡能從其本身測(cè)得的物理量(如液柱高度、工作液、比重直接計(jì)算出氣體壓力的稱真空計(jì),這種mks真空計(jì)測(cè)量精度較高,主要用作基準(zhǔn)量具。mks真空計(jì)主要利用氣體在低壓力下的某些物理特性(如熱傳導(dǎo)、電離、粘滯性和應(yīng)變等)與壓力的關(guān)系間接測(cè)量,其測(cè)量精度較低,而且測(cè)量結(jié)果還與被測(cè)氣體種類和成分有關(guān)。因此相對(duì)真空計(jì)必須用真空計(jì)標(biāo)定和校準(zhǔn)后方能用作真空測(cè)量。美國(guó)mks真空計(jì)但它能直接讀出被測(cè)壓力,使用方便,在實(shí)際應(yīng)用中占絕大多數(shù)。mks真空計(jì)需要測(cè)量的壓力范圍為105~10-11帕,甚至更小,寬達(dá)16個(gè)數(shù)量級(jí)以上,尚無(wú)一種真空計(jì)能適用于從粗真空(105~102帕)、低真空(102~10-1帕)、高真空(10-1~10-5帕)、超高真空(小于10-5帕)到*真空(小于10-10帕)的全范圍測(cè)量,因而有多種真空計(jì)。zui常用的有U形管真空計(jì)、壓縮式真空計(jì)、電阻真空計(jì)和冷熱陰極電離真空計(jì),以及可以連續(xù)測(cè)量的復(fù)合真空計(jì)。美國(guó)mks真空計(jì)的選型特點(diǎn):
低成本傳感器的替代方案
緊湊型系統(tǒng)設(shè)計(jì),將電路與傳感器集成與一體
由于傳感器具有快速的、準(zhǔn)確的和可重復(fù)性的壓力測(cè)量,從而縮短了工藝周期時(shí)間。
擁有清潔的、牢固的設(shè)計(jì)和不銹鋼結(jié)構(gòu),因此傳感器適合于環(huán)境嚴(yán)苛的工藝
易于操作,具備模擬輸出和數(shù)字通信功能
由設(shè)定點(diǎn)繼電器獲得的工藝控制具有快速的響應(yīng)時(shí)間。
美國(guó)mks真空計(jì)的主要參數(shù):
測(cè)量范圍:0.1至1000Torr
精度(10-1000Torr):±1%讀數(shù)
重復(fù)性:±0.3%讀數(shù)
電源要求:9至30VDC < 1.2W美國(guó)mks真空計(jì)的選型指南